Описание
Параметры продукта:
MEMS газовый датчик выделенная микро горячая пластина;
Микро-горячая пластинаБазовый размер 1,5 мм * 1,5 мм;
Микро-горячая пластинаРазмер подвесной пленки 0,8*0,8 мм;
Микро-горячая пластинаРазмер нагревательной зоны 0,4*0,4;
Может быть настроен в соответствии с требованиями заказчика различные размеры горячей плиты спецификации.
Услуги Содержание:
Компания может предоставить клиентам услуги по обработке, проектированию, консалтингу и другим услугам. Его техническая поддержка включает в себя проектирование и моделирование структуры устройств MEMS, анализ осуществимости; обработка MEMS на поверхности кремниевой технологии, технологии оптового кремния, UV-LIGA процесс.
Процесс прайс-лист
Для литографической печати:4 ", 6", двустороннее выравнивание,
Магнетронное распыление:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni.
Испарения луча электронов:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni.
Термальность испарения:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni.
PECVD:SiO2, Si3N4, поли Si.
LPCVD:SiO2, Si3N4, поли Si.
Icpcvd:SiO2, Si3N4, поли Si.
Глубокий кремния травления:Процесс BOSCH, Соотношение сторон: 10: 1
Роу травления:SiO2, Si3N4
Влажный изометрия коррозии:TMAH, KOH
Золотая линия связи:50um
Вафли Соединение:4"
Покрытие:4 ", медь, никель, олово, золото и так далее
Чехол-книжка с сварки<2>
Характеристики
- Бренд
- MILONT
- Тип датчика
- Пьезоэлектрический
- Чувствительность
- check it
- Разрешение
- check it
- Диапазон измерения
- check it
- Линейный
- check it
- Гистерезис
- check it
- Повторяемость
- check it
- Тип
- Не нагревательного типа








