MEMS устройств MEMS датчики газа микро горячая пластина 1,5 мм* 1,5 мм

MEMS устройств MEMS датчики газа микро горячая пластина 1,5 мм* 1,5 мм

1 553 руб.

Описание

Параметры продукта:

MEMS газовый датчик выделенная микро горячая пластина;

Микро-горячая пластинаБазовый размер 1,5 мм * 1,5 мм;

Микро-горячая пластинаРазмер подвесной пленки 0,8*0,8 мм;

Микро-горячая пластинаРазмер нагревательной зоны 0,4*0,4;

Может быть настроен в соответствии с требованиями заказчика различные размеры горячей плиты спецификации.

Услуги Содержание:

Компания может предоставить клиентам услуги по обработке, проектированию, консалтингу и другим услугам. Его техническая поддержка включает в себя проектирование и моделирование структуры устройств MEMS, анализ осуществимости; обработка MEMS на поверхности кремниевой технологии, технологии оптового кремния, UV-LIGA процесс.

Процесс прайс-лист

Для литографической печати:4 ", 6", двустороннее выравнивание, Магнетронное распыление:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. Испарения луча электронов:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. Термальность испарения:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. PECVD:SiO2, Si3N4, поли Si. LPCVD:SiO2, Si3N4, поли Si. Icpcvd:SiO2, Si3N4, поли Si.
Глубокий кремния травления:Процесс BOSCH, Соотношение сторон: 10: 1 Роу травления:SiO2, Si3N4 Влажный изометрия коррозии:TMAH, KOH Золотая линия связи:50um Вафли Соединение:4" Покрытие:4 ", медь, никель, олово, золото и так далее Чехол-книжка с сварки<2>

Характеристики

Бренд
MILONT
Тип датчика
Пьезоэлектрический
Чувствительность
check it
Разрешение
check it
Диапазон измерения
check it
Линейный
check it
Гистерезис
check it
Повторяемость
check it
Тип
Не нагревательного типа