Описание
Параметры продукта:
\
\
MEMSMicro горячая пластина для датчика Газа;
\
\
Микро-hotplatebasic размеры 1.5мм * 1,5 мм;
\
\
Размер микро-hotplatesuspension 0,8*0,8 мм;
\
\
Зона микро-нагрева, размер 0,4*0,4;
\
\
Различные размеры микро-горячей плиты могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика.
\
\
Содержание обслуживания:
\
\
Наша компания может предоставить клиентам. MEMSmachining, дизайн, консультации и другие услуги. его область технической поддержки включает в себя дизайн и моделирование структуры устройства, анализ осуществимости; технологии MEMSSurface кремния в механической обработке, массовый процесс кремния, UV-LIGA технологии и т. Д.
\
\
Процесс прайс-лист
\
\
\
\
\
\
\
\\
\ \
\\
\\
\\ \
Photolith:4., 6., двустороннее выравнивание, \
Магнетронное распыление:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. \
Испарения луча электронов:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. \
Термальность испарения:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. \
PECVD:SiO2, Si3N4, Poly Si. \
LPCVD:SiO2, Si3N4, Poly Si. \
ICPCVD:SiO2, Si3N4, Poly Si. \
\
\Photolith:4., 6., двустороннее выравнивание, \
Магнетронное распыление:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. \
Испарения луча электронов:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. \
Термальность испарения:Ti, Cr, Au, Cu, Al, Pt, TiN, Ni. \
PECVD:SiO2, Si3N4, Poly Si. \
LPCVD:SiO2, Si3N4, Poly Si. \
ICPCVD:SiO2, Si3N4, Poly Si. \
\
\
\
\\
\\
\\
\\ \
Глубокий кремния травления:BOSCHTechnology, Соотношение сторон: 10: 1 \
RIEEtching:SiO2, Si3N4 \
Влажный Анизотропная коррозии:TMAH, KOH \
Золотой связь:50um \
Вафли Соединение:4" \
Гальваническое покрытие:4 "медь, никель, олово, такой как золото \
Монтажа методом перевернутого кристалла склеивания:<2 \
\
\Глубокий кремния травления:BOSCHTechnology, Соотношение сторон: 10: 1 \
RIEEtching:SiO2, Si3N4 \
Влажный Анизотропная коррозии:TMAH, KOH \
Золотой связь:50um \
Вафли Соединение:4" \
Гальваническое покрытие:4 "медь, никель, олово, такой как золото \
Монтажа методом перевернутого кристалла склеивания:<2 \
\
\
\
'
Характеристики
- Color classification
- black










